超纯水设备的价格因设备的处理能力、工艺要求、配置以及品牌等多重因素而有所差异。以下是基于不同处理能力的价格范围参考：

1. 

   小型设备（每小时产水数吨以内）：这类设备的处理能力相对较小，适用于小型工厂或实验室，价格大致在3万至10万元之间。

2. 中型设备（每小时产水数吨至十数吨）：适用于中型规模的企业，如电子制造或制药厂，价格范围一般在10万至30万元。

3. 大型设备（每小时产水数十吨及以上）：针对大型工业企业、制药厂或发电厂等，这类设备的价格往往超过30万元，部分高端设备甚至可达上百万元。

在选择超纯水设备时，除了价格因素外，还应考虑设备的性能、耗能、维护成本以及售后服务等。建议咨询多家供应商，根据自身需求选择合适的设备。购买前务必进行充分的调研和比较，确保投资物有所值。